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4116010100氦质谱检漏台 指集成电路生产用氦质谱检漏台
4116010200半导体器件光学检验仪器 不包括氦质谱检漏台
4116010300光学或分度尺比较仪
4116010400光学表面检查仪 用于以照相方式记录和测量表面轮廓及状态
4116010500光学测角仪或角规
4116010600比长仪工作台
4116010700干涉仪 指用于检验平面的干涉仪
4116010800校直望远镜 用于检验工作台或机器导轨的直线度及测量金属结构
4116010900光学尺 指用于测量平面误差的光学尺
4116011000测微读数装置
4116011100焦距计 用于测量眼镜片焦距
4116019900其他光学检测仪器及设备 包括具有框架及工作台、观测显微镜、两台测微显微镜及投影装置的测量工作台、其他光学观察设备
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